Trenkler, ThomasThomasTrenklerHantschel, ThomasThomasHantschelVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstHellemans, L.L.HellemansKulisch, W.W.KulischOesterschulze, E.E.OesterschulzeNiedermann, P.P.NiedermannSulzbach, T.T.Sulzbach2021-10-142021-10-141999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3891Characterization of conductive probes for atomic force microscopyProceedings paper