Cho, Moon JuMoon JuChoNouri, F.F.NouriSchreutelkamp, RobRobSchreutelkampKim, Y.Y.KimMertens, SofieSofieMertensVerheyen, PeterPeterVerheyenSteenbergen, JohnnyJohnnySteenbergenVrancken, ChristaChristaVranckenRichard, OlivierOlivierRichardTokei, ZsoltZsoltTokeiLauwers, AnneAnneLauwersBender, HugoHugoBenderVan Daele, BennyBennyVan DaeleVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstGeenen, LucLucGeenenAbsil, PhilippePhilippeAbsilKubicek, StefanStefanKubicekDemeurisse, CarolineCarolineDemeurisse2021-10-162021-10-162007https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/11861Study of Ni-Silicide contacts to Si:C source/drainJournal article