Elfrink, ReneReneElfrinkPop, ValerValerPopHohlfeld, DennisDennisHohlfeldKamel, TalalTalalKamelMatova, SvetlaSvetlaMatovade Nooijer, ChristineChristinede NooijerJambunathan, MadhusudhananMadhusudhananJambunathanGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedCaballero Guindo, Luis IgnacioLuis IgnacioCaballero GuindoRenaud, MichaelMichaelRenaudPenders, JulienJulienPendersvan Schaijk, RobRobvan Schaijk2021-10-172021-10-172009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/15269First autonomous wireless sensor node powered by a vacuum-packaged piezoelectric MEMS energy harvesterProceedings paper