Temst, K.K.TemstVan Bael, M.M.Van BaelBaert, M.M.BaertRosseel, ErikErikRosseelBruyndoncx, V.V.BruyndoncxStrunk, C.C.StrunkVerbanck, G.G.VerbanckMaex, KarenKarenMaexVan Haesendonck, ChrisChrisVan HaesendonckMoshchalkov, V. V.V. V.MoshchalkovBruynseraede, Y.Y.BruynseraedeJonckheere, RikRikJonckheerede Groot, D. G.D. G.de GrootKoeman, N.N.KoemanGriessen, R.R.Griessen2021-09-292021-09-291996https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/1530Structural characterization of thin films and multilayer structuresJournal article