De Moor, PietPietDe MoorWitvrouw, AnnAnnWitvrouwSimons, VeerleVeerleSimonsDe Wolf, IngridIngridDe Wolf2021-10-062021-10-061999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3367Fabrication and reliability testing of Ti/TiN heatersProceedings paper