Clarysse, TrudoTrudoClarysseDortu, FabianFabianDortuVanhaeren, DanielleDanielleVanhaerenHoflijk, IlseIlseHoflijkGeenen, LucLucGeenenJanssens, TomTomJanssensLoo, RogerRogerLooVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstPawlak, BartekBartekPawlakOuzeaud, V.V.OuzeaudDefranoux, C.C.DefranouxFaifer, V.N.V.N.FaiferCurrent, M.I.M.I.Current2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/8696Accurate electrical activation characterization of CMOS ultra-shallow profilesJournal article