De Wolf, IngridIngridDe Wolfvan Spengen, MerlijnMerlijnvan SpengenRottenberg, XavierXavierRottenbergCarchon, GeertGeertCarchonFiorini, PaoloPaoloFioriniJourdain, AnneAnneJourdainDe Moor, PietPietDe MoorTilmans, HarrieHarrieTilmans2021-10-152021-10-152003https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/7468Reliability of RF-MEMSProceedings paper