Untersuchung der Heliumimplantation als Schlüsselprozess in der Relaxtion von pseudomorphischen SiGe/Si Heterostrukturen

Luysberg, M.M.LuysbergBuca, D.D.BucaMantl, S.S.MantlMorschbacher, M.M.MorschbacherFichner, P.P.FichnerLoo, RogerRogerLooCaymax, MattyMattyCaymaxUrban, K.K.UrbanHueging, N.N.Hueging2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9234Untersuchung der Heliumimplantation als Schlüsselprozess in der Relaxtion von pseudomorphischen SiGe/Si HeterostrukturenOral presentation