Slotboom, MichielMichielSlotboomGoarin, PierrePierreGoarinAkil, NaderNaderAkilVan Duuren, MichielMichielVan DuurenDemand, MarcMarcDemandWouters, Johan M. D.Johan M. D.WoutersBeckx, StephanStephanBeckxLeray, PhilippePhilippeLerayBaerts, ChristinaChristinaBaertsHeylen, NancyNancyHeylenPollentier, IvanIvanPollentier2021-10-152021-10-152003https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/8158Gate isolation technology for compact poly-CMP embedded flash memoriesProceedings paper