Vullers, RuudRuudVullersvan Schaijk, RobRobvan SchaijkGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedElfrink, ReneReneElfrinkWang, ZiyangZiyangWangVan Hoof, ChrisChrisVan Hoof2021-10-192021-10-192011https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/20123Process challenges of MEMS harvesters and their effect on harvester performanceProceedings paper