Baert, KrisKrisBaertDe Moor, PietPietDe MoorTilmans, HarrieHarrieTilmansJohn, JoachimJoachimJohnWitvrouw, AnnAnnWitvrouwVan Hoof, ChrisChrisVan HoofBeyne, EricEricBeyneVan Bavel, MiekeMiekeVan Bavel2021-10-152021-10-152003-11https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/7169Trends beim Einbau von MEMS auf Wafer-EbeneJournal article