Pawlak, BartekBartekPawlakLindsay, RichardRichardLindsaySurdeanu, RaduRaduSurdeanuDieu, BjornBjornDieuGeenen, LucLucGeenenHoflijk, IlseIlseHoflijkRichard, OlivierOlivierRichardDuffy, RayRayDuffyClarysse, TrudoTrudoClarysseBrijs, BertBertBrijsVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorst2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9410Chemical and electrical dopants profile evolution during solid phase epitaxial regrowthJournal article