Sangameswaran, SandeepSandeepSangameswaranDe Coster, JeroenJeroenDe CosterLinten, DimitriDimitriLintenScholz, MirkoMirkoScholzThijs, StevenStevenThijsHaspeslagh, LucLucHaspeslaghWitvrouw, AnnAnnWitvrouwVan Hoof, ChrisChrisVan HoofGroeseneken, GuidoGuidoGroesenekenDe Wolf, IngridIngridDe Wolf2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14417ESD issues in MEMS: a case study in micromirrorsOral presentation