Das, ArabindaArabindaDasKokubo, TerukazuTerukazuKokuboFurukawa, YukikoYukikoFurukawaStruyf, HerbertHerbertStruyfVos, IngridIngridVosSijmus, BramBramSijmusIacopi, FrancescaFrancescaIacopiVan Aelst, JokeJokeVan AelstLe, Quoc ToanQuoc ToanLeCarbonell, LaureLaureCarbonellBrongersma, SywertSywertBrongersmaMaenhoudt, MireilleMireilleMaenhoudtTokei, ZsoltZsoltTokeiVervoort, IwanIwanVervoortSleeckx, ErikErikSleeckxStucchi, MicheleMicheleStucchiSchaekers, MarcMarcSchaekersBoullart, WernerWernerBoullartRosseel, ErikErikRosseelVan Hove, MarleenMarleenVan HoveVanhaelemeersch, SergeSergeVanhaelemeerschShiota, A.A.ShiotaMaex, KarenKarenMaex2021-10-142021-10-142002https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/6170Characterisation and integration feasibility of JSR's low-k dielectric LKD-5109Journal article