Van Elshocht, SvenSvenVan ElshochtDelabie, AnneliesAnneliesDelabieDewilde, SvenSvenDewildeMeersschaut, JohanJohanMeersschautSwerts, JohanJohanSwertsTielens, HildeHildeTielensVerdonck, PatrickPatrickVerdonckWitters, ThomasThomasWittersVancoille, EricEricVancoille2021-10-192021-10-192011-10https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/19971ALD barrier deposition on porous low-k dielectric materials for interconnectsProceedings paper