Posselt, M.M.PosseltWündisch, C.C.WündischSchmidt, B.B.SchmidtSchumann, T.T.SchumannMücklich, A.A.MücklichSkorupa, W.W.SkorupaClarysse, TrudoTrudoClarysseSimoen, EddyEddySimoenHortenbach, H.H.Hortenbach2021-10-182021-10-182009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/16046Millisecond flash lamp annealing of ultrashallow implanted layers in GeMeeting abstract