Van Steenkiste, FilipFilipVan SteenkisteMaes, DavidDavidMaesHaspeslagh, LucLucHaspeslaghSedky, SherifSherifSedkyVan Gerwen, PeterPeterVan Gerwenvan der Groen, SonjaSonjavan der GroenBaert, KrisKrisBaert2021-10-012021-10-011998https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3067CMOS-based sensors and actuatorsProceedings paper