Ragnarsson, Lars-AkeLars-AkeRagnarssonSchram, TomTomSchramRohr, ErikaErikaRohrSebaai, FaridFaridSebaaiKelkar, PrasadPrasadKelkarWada, MasayukiMasayukiWadaKauerauf, ThomasThomasKaueraufAoulaiche, MarcMarcAoulaicheCho, Moon JuMoon JuChoKubicek, StefanStefanKubicekLauwers, AnneAnneLauwersHoffmann, Thomas Y.Thomas Y.HoffmannAbsil, PhilippePhilippeAbsilBiesemans, SergeSergeBiesemans2021-10-182021-10-182009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/16086Single-metal dual-dielectric (SMDD) gate-first CMOS integration towards low VT and high performanceProceedings paper