Holländer, B.B.HolländerBuca, D.M.D.M.BucaLenk, S.S.LenkMantl, S.S.MantlHerzog, H.J.H.J.HerzogHackbarth, T.T.HackbarthLoo, RogerRogerLooCaymax, MattyMattyCaymaxMörschbächer, M.M.MörschbächerFichtner, P.F.P.P.F.P.Fichtner2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9042Strain relaxation of pseudomorphic Si1-xGex/Si(100) heterostructures by Si+ ion implantationOral presentation