De Wolf, PeterPeterDe WolfClarysse, TrudoTrudoClarysseVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstHellemans, L.L.HellemansNiedermann, P.P.NiedermannHanni, W.W.Hanni2021-09-302021-09-301997https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/1833Cross-sectional nano-srp dopant profilingProceedings paper