Jin, S.S.JinLi, H.H.LiBender, HugoHugoBenderHeyvaert, IlseIlseHeyvaertMaex, KarenKarenMaex2021-10-062021-10-061999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3541Characterisation of tungsten nitride barrier layer for copper metallisationProceedings paper