De l'interet des spectroscopies électroniques pour le développement de nouveaux matériaux en microélectronique

Conard, ThierryThierryConardFranquet, AlexisAlexisFranquetVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorst2021-10-202021-10-202012https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/20494De l'interet des spectroscopies électroniques pour le développement de nouveaux matériaux en microélectroniqueProceedings paper