Beyer, GeraldGeraldBeyerKitabijan, P.P.KitabijanBrongersma, SywertSywertBrongersmaProost, JorisJorisProostBender, HugoHugoBenderRichard, EmmanuelEmmanuelRichardVervoort, IwanIwanVervoortHey, P.P.HeyZhang, P.P.ZhangMaex, KarenKarenMaex2021-10-142021-10-142000https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/4119Rapid thermal anealing of electro chemically plated Cu filmsProceedings paper