Du Bois, BertBertDu BoisVereecke, GuyGuyVereeckeWitvrouw, AnnAnnWitvrouwDe Moor, PietPietDe MoorVan Hoof, ChrisChrisVan HoofDe Caussemaeker, AnnAnnDe CaussemaekerVerbist, AgnesAgnesVerbist2021-10-142021-10-142001https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/5273HF etching of Si-oxides and Si-nitrides for surface micromachiningProceedings paper