Jurczak, GosiaGosiaJurczakCollaert, NadineNadineCollaertVeloso, AnabelaAnabelaVelosoHoffmann, Thomas Y.Thomas Y.HoffmannBiesemans, SergeSergeBiesemans2021-10-172021-10-172009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/15554Review of FINFET technologyProceedings paper