Li, H.H.LiBaklanov, MikhaïlMikhaïlBaklanovBoullart, WernerWernerBoullartConard, ThierryThierryConardBrijs, BertBertBrijsMaex, KarenKarenMaexFroyen, L.L.Froyen2021-10-142021-10-141999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3618Evaluation of post metal etch cleaning by analyzing chemical compositions and distributionsProceedings paper