Maes, JanJanMaesLaitinen, O.O.LaitinenDe Witte, HildeHildeDe WitteDeweerd, WimWimDeweerdDelabie, AnneliesAnneliesDelabieConard, ThierryThierryConardBrijs, BertBertBrijsWang, C. - G.C. - G.WangVelasco, H.H.VelascoWilk, G.G.Wilk2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9251ALCVD hafnium silicates for low power gate stacksOral presentation