Leonov, VladimirVladimirLeonovGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedde Nooijer, ChristineChristinede Nooijervan Schaijk, RobRobvan Schaijk2021-10-202021-10-202012-10https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/21001Fine patterning of electrets for sensors and energy harvestersProceedings paper