Zhang, WenqiWenqiZhangBrongersma, SywertSywertBrongersmaClarysse, TrudoTrudoClarysseWu, WenWenWuVervoort, IwanIwanVervoortPalmans, RogerRogerPalmansHoflijk, IlseIlseHoflijkBender, HugoHugoBenderHui, W.W.HuiCarbonell, LaureLaureCarbonellRosseel, ErikErikRosseelVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstMaex, KarenKarenMaex2021-10-152021-10-152003https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/8437The thickness and temperature dependent resistivity of thin copper filmsOral presentation