Witvrouw, AnnAnnWitvrouwProost, JorisJorisProostDeweerdt, BrunoBrunoDeweerdtRoussel, PhilippePhilippeRousselMaex, KarenKarenMaex2021-09-292021-09-291995https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/1022Stress relaxation in Al-Si-Cu thin films and linesProceedings paper