Rijks, T.G.S.M.T.G.S.M.Rijksvan Beek, J.T.M.J.T.M.van BeekSteeneken, P.G.P.G.SteenekenUlenaers, M.J.E.M.J.E.Ulenaersvan Eerd, P.P.van Eerdden Toonder, J.M.J.J.M.J.den Toondervan Dijken, Q.R.Q.R.van DijkenDe Coster, JeroenJeroenDe CosterPuers, BobBobPuersWeekamp, J.W.J.W.WeekampScheer, J.M.J.M.ScheerJourdain, AnneAnneJourdainTilmans, HarrieHarrieTilmans2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9511MEMS tunable capacitors and switches for RF applicationsProceedings paper