Rusu, CristinaCristinaRusuKlaasse, GerardGerardKlaasseSedky, SherifSherifSedkyEsch, HeleenHeleenEschParmentier, BrigitteBrigitteParmentierVerbist, AgnesAgnesVerbistWitvrouw, AnnAnnWitvrouw2021-10-142021-10-142001https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/5628Planarization of deep trenchesProceedings paper