Pawlak, BartekBartekPawlakLindsay, RichardRichardLindsayKittl, JorgeJorgeKittlVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstClarysse, TrudoTrudoClarysseHoflijk, IlseIlseHoflijkDieu, B.B.DieuGeenen, LucLucGeenenBrijs, BertBertBrijs2021-10-152021-10-152003https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/7988Chemical and electrical dopant profiling for P-type junctions formed by solid phase epitaxial regrowthProceedings paper