De Wolf, IngridIngridDe Wolfvan Spengen, MerlijnMerlijnvan SpengenModlinski, RobertRobertModlinskiJourdain, AnneAnneJourdainWitvrouw, AnnAnnWitvrouwFiorini, PaoloPaoloFioriniTilmans, HarrieHarrieTilmans2021-10-142021-10-142002https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/6231Reliability and failure analysis of RF MEMS switchesProceedings paper