Marinissen, Erik JanErik JanMarinissenKonijnenburg, MarioMarioKonijnenburgVerbree, JoukeJoukeVerbreeChi, Chun-ChuanChun-ChuanChiDeutsch, SergejSergejDeutschPapameletis, ChristosChristosPapameletisBurgherr, TobiasTobiasBurgherrShibin, KonstantinKonstantinShibinKeller, BrionBrionKellerChickermane, VivekVivekChickermaneGoel, Sandeep K.Sandeep K.Goel2021-10-272021-10-272019-03https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/33541Book chapterhttps://www.wiley-vch.de/en/areas-interest/engineering/handbook-of-3d-integration-978-3-527-33855-9