Beernaert, RoelRoelBeernaertAvci, AykutAykutAvciDe Smet, JelleJelleDe SmetDe Coster, JeroenJeroenDe CosterWitvrouw, AnnAnnWitvrouwDe Smet, HerbertHerbertDe Smet2021-10-192021-10-192011https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/18539CMOS compatible SiGe micromirrorsProceedings paper