Vandenberghe, GeertGeertVandenbergheWong, PatrickPatrickWongVandenbroeck, NadiaNadiaVandenbroeckBekaert, JoostJoostBekaertLaenens, BartBartLaenensDe Bisschop, PeterPeterDe BisschopVersluijs, JankoJankoVersluijsWiaux, VincentVincentWiaux2021-10-182021-10-182010https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/18212Multiple patterning: a path towards sub-20nm hpOral presentation