Verticaal gekoppelde microringresonatoren gefabriceerd met waferbonding - Vertically coupled microring resonators fabricated with wafer bonding

Christiaens, IlseIlseChristiaens2021-10-162021-10-162005-06https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/10222Verticaal gekoppelde microringresonatoren gefabriceerd met waferbonding - Vertically coupled microring resonators fabricated with wafer bondingPHD thesis