De Coster, JeroenJeroenDe CosterHaspeslagh, LucLucHaspeslaghWitvrouw, AnnAnnWitvrouwDe Wolf, IngridIngridDe Wolf2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/13597Long-term reliability measurements on MEMS using a laser-Doppler vibrometerProceedings paper