Witvrouw, AnnAnnWitvrouwBeyne, EricEricBeyneHaspeslagh, LucLucHaspeslaghDe Wolf, IngridIngridDe Wolf2021-10-182021-10-182009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/16554CMOS-integrated SiGe MEMS: application to micro-mirror arraysProceedings paper