Dam, Van AnhVan AnhDamBlauw, MichielMichielBlauwRovers, MadelonMadelonRoversBrongersma, SywertSywertBrongersmavan Schaijk, RobRobvan Schaijk2021-10-212021-10-212013https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/22199Gas sensing with atomic layer deposited dielectric thin filmProceedings paper