Wündisch, C.C.WündischPosselt, M.M.PosseltSchmidt, B.B.SchmidtHeera, V.V.HeeraSchumann, T.T.SchumannMücklich, A.A.MücklichGrötzschel, R.R.GrötzschelSkorupa, W.W.SkorupaClarysse, TrudoTrudoClarysseSimoen, EddyEddySimoenHortenbach, H.H.Hortenbach2021-10-182021-10-1820090003-6951https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/16565Millisecond flash lamp annealing of shallow implanted layers in GeJournal article