Degroote, StefanStefanDegrooteLeys, MaartenMaartenLeysCheng, KaiKaiChengSijmus, BramBramSijmusDerluyn, JoffJoffDerluynBorghs, GustaafGustaafBorghsGermain, MarianneMarianneGermain2021-10-182021-10-182010https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/16998Epitaxial growth of III-nitrides on silicon substratesProceedings paper