Rusu, CristinaCristinaRusuSedky, S.S.SedkyParmentier, BrigitteBrigitteParmentierVerbist, AgnesAgnesVerbistRichard, OlivierOlivierRichardBrijs, BertBertBrijsGeenen, LucLucGeenenWitvrouw, AnnAnnWitvrouwLärmer, F.F.LärmerFischer, F.F.FischerKronmüller, S.S.KronmüllerLeca, V.V.LecaOtter, B.B.Otter2021-10-152021-10-152003https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/8096New low-stress PECVD Poly-SiGe layers for MEMSJournal article