De Moor, PietPietDe MoorBaert, KrisKrisBaertDe Wolf, IngridIngridDe WolfJourdain, AnneAnneJourdainTilmans, HarrieHarrieTilmansWitvrouw, AnnAnnWitvrouwVan Hoof, ChrisChrisVan Hoof2021-10-162021-10-162005https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/10309Characterization of (near) hermetic zero-level packages for MEMSProceedings paper