Witvrouw, AnnAnnWitvrouwGromova, MariaMariaGromovaMehta, AnshuAnshuMehtaSedky, SherifSherifSedkyDe Moor, PietPietDe MoorBaert, KrisKrisBaertVan Hoof, ChrisChrisVan Hoof2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9926Poly-SiGe, a superb material for MEMSProceedings paper