Volders, HennyHennyVoldersTokei, ZsoltZsoltTokeiBender, HugoHugoBenderBrijs, BertBertBrijsCaluwaerts, RudyRudyCaluwaertsCarbonell, LaureLaureCarbonellConard, ThierryThierryConardDrijbooms, ChrisChrisDrijboomsFranquet, AlexisAlexisFranquetGaraud, SylvainSylvainGaraudHoflijk, IlseIlseHoflijkLi, Wei-MinWei-MinLiMoussa, AlainAlainMoussaSinapi, FabriceFabriceSinapiSprey, HesselHesselSpreyTravaly, YoussefYoussefTravalyVanhaeren, DanielleDanielleVanhaerenVereecke, GuyGuyVereecke2021-10-162021-10-162007https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/13195Materials characterization of WNxCy, WNx and WCx films for advanced barriersJournal articleMEE5688