Ziad, HocineHocineZiadDe Bruyker, DirkDirkDe BruykerChévrier, Jean-BaptisteJean-BaptisteChévrierBaert, KrisKrisBaertLöwe, H.H.LöweTilmans, H.A.C.H.A.C.Tilmans2021-09-292021-09-291996https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/1686Towards integrated microrelays using electromagnetic actuationProceedings paper