Elfrink, ReneReneElfrinkKamel, TalalTalalKamelGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedMatova, SvetlaSvetlaMatovavan Andel, YvonneYvonnevan Andelvan Schaijk, RobRobvan Schaijk2021-10-172021-10-1720090960-1317https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/15268Vibration energy harvesting with aluminum nitride-based piezoelectricJournal article