Vanhaelemeersch, SergeSergeVanhaelemeerschAlaerts, CarineCarineAlaertsBaklanov, MikhaïlMikhaïlBaklanovStruyf, HerbertHerbertStruyf2021-10-142021-10-141999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3973Dry etching of low-K materialsProceedings paper